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    Furness測漏儀實驗步驟

    日期:2022-09-24 20:22
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    摘要:

    Furness測漏儀實驗步驟
    A.抽真空時間
    啟動機械幫浦,接下來開啟粗略真空閥門,以每20秒紀錄壓力到torr,啟動渦輪分子幫浦,等候幫浦轉速達到額定轉逤,開啟真空閥門,
    以每20秒紀錄壓力,直至壓力在torr。
    軟體模擬部份:量測腔體至機械幫浦之管長、彎管內徑及管徑,建立切換器管路,接著設置抽氣區間之起始壓力、**壓力及腔體容積,依
    據廠商提供之機械幫浦及渦輪幫浦抽氣速率,做為抽氣幫浦的設置,將所量測之腔體面積、漏氣率及不銹鋼材質釋氣系數對氣體負載設置。
    比較實驗值與軟體模擬值的結果。

    B.利用壓力回升法、氦氣測漏儀計算腔體漏氣率
    壓力回升法:啟動機械幫浦抽至torr接著開啟高真空閥門與管路閥門以渦輪分子抽至高真空,當壓力達到torr,關閉高真空閥門與管路閥門,
    以每小時為單位紀錄腔體壓力變化量。
    氦氣測漏法:將真空切換器與氦氣測漏儀破大氣后,兩者以管路相連接,把真空切換器抽至高真空1x mbar,于腔體外圍將氦氣由下往上噴于系
    統銜接處,以氦氣測漏儀量測氦氣漏率以求得腔體漏氣率。將兩者實驗結果做比較討論。

    粵公網安備 44040202000774號

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